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Master-P510APEX

Master-P510APEX抛光设备是面向先进封装、玻璃基板等领域板级产品的高精度抛光设备 ,专为满足 510mm×515mm 规格板件的超平展化、低缺点抛光需要设计。双抛光头 + 双研磨盘配置 ,集成在线洗濯?橛肴远叩土舷低 ,配置翻转? ,实现双面抛光需要?陕叫槐湓诵 ,满足全自动量产的需要。

5个独立气压分区的抛光头

集成多种先进终点检测技术

可实现产品干进干出

全自动高低料系统

配置产品翻转? ,可实现双面抛光

满足自动化量产需要

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