Master-P510抛光设备是面向先进封装、玻璃基板等领域板级产品的高精度抛光设备，专为满足不大于510mm×515mm 规格板件的超平展化、低缺点抛光需要设计。单抛光头，单抛光盘设备守护成本低，工艺切换矫捷，无需复杂配套设备。
5个独立气压分区的抛光头
集成多种先进终点检测技术
半自动高低料
配置离线洗濯单元，湿进干出
